廢氣是指人類在生產(chǎn)和生活過程中排出的有毒有害的氣體，嚴(yán)重污染環(huán)境和影響人體健康。

杭州某項目洗滌塔

在半導(dǎo)體或光電產(chǎn)業(yè)制造生產(chǎn)過程中，使用了大量的易燃溶劑、氣體及化學(xué)品，這些化學(xué)物質(zhì)大多對人體是有害的，甚至多種化學(xué)物質(zhì)發(fā)生化學(xué)反應(yīng)之后，會產(chǎn)生令人不可預(yù)期的化學(xué)物質(zhì)，而存在這些化學(xué)物質(zhì)的空氣便為有害的工藝廢氣。

其次，同樣于生產(chǎn)制程中，機(jī)臺本身并無上述化學(xué)品的使用，但仍可能產(chǎn)生高溫、水氣、粉塵等會影響制程潔凈環(huán)境的物質(zhì)，這類則可稱為無害性工藝廢氣。

將上述的制程廢氣收集、處理、排放的過程，稱為工藝廢氣處理。

按照工藝廢氣處理氣體的類型一般可以將廢氣處理系統(tǒng)分為以下幾個類別：

1、一般排氣系統(tǒng)（GEX）

2、酸排氣（SEX）/堿排氣（AEX）系統(tǒng)

3、有機(jī)排氣系統(tǒng)（VEX）

4、粉塵排氣系統(tǒng)（CVD）

有些企業(yè)還會涉及到一些毒氣、易燃易爆、惡臭及氮氧化物的排氣系統(tǒng)，有興趣的可以通過別的渠道了解學(xué)習(xí)，本次我們主要介紹一下酸堿廢氣處理過程中的核心設(shè)備--洗滌塔。

對于含有酸性/堿性物質(zhì)的廢氣，大都采用大型洗滌式中央廢氣處理系統(tǒng)進(jìn)行處理。中央廢氣處理系統(tǒng)的核心設(shè)備是一種采用水洗式的洗滌塔，主要為酸堿中和反應(yīng)：

NaOH+HCI=NaCI+H2O

2NaOH+H2SO4=Na2SO4+2H2O

NaOH+HNO3=NaNO3+H2O

1、洗滌塔的定義：

我們把使用循環(huán)水噴淋到填充料中來去除廢氣的設(shè)備稱之為洗滌塔，又叫凈化塔。

2、洗滌塔的處理原理:

洗滌塔是利用廢氣(如H2SO4HCLNH3等)能溶于水的性質(zhì)，用水作為吸收介質(zhì)來將廢氣溶解在水中或化學(xué)中和（包括氧化還原等）而達(dá)到一定的去除效率的設(shè)備。也就是用水去阻擋、、加藥中和、、溶解稀釋廢氣，使經(jīng)過洗滌塔設(shè)備的廢氣濃度和排放量減少到一定程度，并達(dá)到環(huán)保排放標(biāo)準(zhǔn)。

3、洗滌塔的結(jié)構(gòu)說明（分類）

分為立式塔和臥式塔兩種。
立式洗滌塔如下所示：

立式洗滌塔

優(yōu)點(diǎn)：

1、占地面積小。

2、效率比臥式塔高

3、循環(huán)水量比臥式塔少。

4、除霧效率比臥式塔好。

缺點(diǎn)：

1、高度受限制區(qū)域不能放置。

2、高度比臥式高。

3、操作及檢修不如臥式塔方便。

應(yīng)用：

1、常放置在地面或屋面高度不限制的地方。

2、吹脫塔等宜采用逆流操作的塔為立式。

臥式洗滌塔如下所示：

優(yōu)點(diǎn)：

1、操作及檢修方便。

2、接風(fēng)管及配管方便

3、放置位置不受高度限制。

4、壓損比立式稍小。

缺點(diǎn)：

1、效率比立式塔稍低。

2、循環(huán)水量比立式稍大。

3、氣流易發(fā)生亂流而未經(jīng)填料。

4、除霧器擋水效果不及立式。

應(yīng)用：

1、不受空間限制可放置在室內(nèi)和室外。

2、適用多塔并聯(lián)系統(tǒng)。

3、應(yīng)用在電子工業(yè)較多。

A、洗滌塔本體，由FRP（耐酸堿）材料制作成型，立式為圓形，臥式為方形。

B、循環(huán)水系統(tǒng):由循環(huán)水泵/配套管路/噴嘴組成。循環(huán)水泵抽取塔底部水箱內(nèi)的水經(jīng)由外部PVC管道輸送進(jìn)塔內(nèi)部噴灑層水管，通過噴嘴霧化噴灑到填料上。使整個填料濕潤，廢氣在填充層內(nèi)與水霧相撞，溶解，并與加入的藥液進(jìn)行化學(xué)反應(yīng)。

C、填充料有兩層。一是填充層，二是除霧層。填料是具有巨大比表面積和大的空隙率的介質(zhì)，灑下來的大水滴撞擊到多孔狀的填充材成小水珠，小水珠再撞擊成更小珠而形成水霧，這些水霧分布在填充料的表面及間隙里，形成一道水霧屏障增大了接觸吸收廢氣的機(jī)率除霧層填料或絲網(wǎng)墊用來阻擋氣流中的大液滴。

D、噴嘴:將有噴淋液霧化均勻噴灑到填料上。(每個塔內(nèi)分布若干個噴嘴)

E、水箱，同本體材質(zhì)(FRP)，其容量提供循環(huán)水泵3分鐘之抽取量。內(nèi)部設(shè)2道過濾網(wǎng)過濾水中雜質(zhì)，防止雜質(zhì)進(jìn)入水泵，需要定期清洗。

F、檢視及維修孔:供人員進(jìn)出維修及填料的卸出或填入。

G、進(jìn)排水法蘭及流量控制裝置。洗滌塔設(shè)定一定的排污率，定時定期排污水，并補(bǔ)充水和化學(xué)藥品使循環(huán)吸收持續(xù)進(jìn)行。

H、進(jìn)出風(fēng)口對接風(fēng)管及風(fēng)機(jī)形成抽風(fēng)通道。使廢氣源源不斷進(jìn)入塔內(nèi)處理后排放。

洗滌塔廢氣處理過程

洗滌塔對廢氣的凈化是通過調(diào)整排氣洗滌塔循環(huán)水的pH值來實現(xiàn)的，淋洗塔內(nèi)物理吸收廢氣中的污染物是一個不穩(wěn)定的可逆過程，在淋洗過程中很容易再被脫附出來，因此需要使用酸堿中和反應(yīng)來對廢氣中存在的污染物進(jìn)行處理。在酸性廢氣處理過程中發(fā)現(xiàn)，當(dāng)pH低于7.6時，即使將循環(huán)水的電導(dǎo)度調(diào)至低于5 ms/cm，系統(tǒng)的處理效率仍然不超過60%;而當(dāng)pH值高于8時，系統(tǒng)處理效率通常高于90%;當(dāng)pH值達(dá)到10時，系統(tǒng)處理效率甚至超過99%。因此控制pH值是保證系統(tǒng)處理效率的關(guān)鍵參數(shù)。雖然酸性排氣洗滌塔，pH值越高處理效率越好，但實際運(yùn)行中pH過高會增加運(yùn)行成本，并會產(chǎn)生結(jié)晶等問題，危及生產(chǎn)安全，因此pH值通常控制在8~I0同樣，對于堿性排氣洗滌塔 ，pH值通?？刂圃?3~6。

在系統(tǒng)實際操作運(yùn)行中發(fā)現(xiàn)，影響系統(tǒng)處理效率的另一個主要因素是循環(huán)水量的問題。洗滌塔在連續(xù)運(yùn)轉(zhuǎn)一定時期后(一般為 6個月)開始出現(xiàn)處理效率下降，即使調(diào)高 pH值也收效甚微，原因在于洗滌塔循環(huán)水中的鹽類很容易在噴嘴處形成結(jié)晶，造成堵塞，使循環(huán)水量下降，而水量不足使得廢氣和水不能充分接觸，因而影響系統(tǒng)的處理效率。因此運(yùn)行 中要把洗滌塔循環(huán)水的電導(dǎo)度嚴(yán)格控制在20 ms/cm 以下，減少鹽類堵塞噴嘴的情況，定期對噴嘴進(jìn)行清理，對循環(huán)水泵和淋洗塔進(jìn)行保養(yǎng)，將循環(huán)水壓力控制在1.5X105 Pa以下，保證充足的循環(huán)水量。

洗滌塔的使用范圍

洗滌塔適用范圍：

1、各種有害氣體如苯、甲苯、二甲苯、H2S、SOX、NOX、NH3、氯化氫、氯氣等氣體之處理；

2、污水處理場、垃圾中轉(zhuǎn)站、污泥處理場和餐廚垃圾處理場之除臭裝置；

3、半導(dǎo)體光電業(yè)之制程排氣處理；

4、垃圾填埋場之滲出水貯留池廢氣處理:

5、焚化爐及工業(yè)爐等排放之廢氣處理；

6、電鍍工廠(電鍍、酸洗、浸鍍作業(yè))廢氣處理；

7、噴漆房、印刷電路板工廠廢氣處理；

8、機(jī)械加工廠油霧廢氣處理。